检测项目

元素成分分析：

• 点分析：元素含量（范围0.01-100wt%）、检测限（≤0.001%，参照ISO15632）
• 定量分析：精度偏差（±0.5wt%）、标准偏差（<2%）
• 元素识别：原子序数范围（Z=5-92）、峰背比（≥10:1）

• 面扫描：分辨率（<1μm）、元素浓度梯度图（动态范围1000:1）
• 线扫描：扫描长度（0-10mm）、步长精度（0.1μm）
• 深度剖析：溅射深度（0.1-50μm）、元素剖面分辨率（0.5μm）

• X射线谱分析：能量分辨率（<20eV）、元素匹配库（ASTME1508）
• 矿物相鉴定：元素组成比对（精度±1wt%）
• 异物识别：尺寸检测下限（0.5μm）、元素丰度计算

• ZAF校正：原子序数修正因子（Z）、吸收修正（A）、荧光修正（F，参照ISO15632）
• 背景校正：背景扣除精度（±0.2%）、峰积分方法
• 标准样品校准：校准误差（<0.3%）、标准块元素覆盖（B-U）

• 表面抛光：粗糙度（Ra<0.05μm）、平面度偏差（≤1μm）
• 导电涂层：厚度（10-20nm）、均匀性（±2nm）
• 蚀刻处理：离子束能量（1-5keV）、蚀刻速率（0.1nm/s）

• 结晶取向：电子背散射衍射结合（角度分辨率0.1°）
• 相鉴定：元素组成与晶体匹配（精度±0.5wt%）
• 晶界分析：晶粒尺寸（0.1-100μm）、边界元素富集

• 镀层厚度：分辨率（0.1μm）、厚度范围（0.1-50μm）
• 界面扩散：元素梯度斜率（0.1μm/at%）、界面宽度（<1μm）
• 涂层组成：元素均匀性（偏差±0.3wt%）

• 夹杂物组成：元素定量（wt%）、尺寸分布（0.5-50μm，参照GB/T17359）
• 氧化物/硫化物识别：类型分类（ASTME45）、含量计算
• 缺陷评估：夹杂物密度（个/mm²）、形态评级

• 腐蚀层元素分布：深度分辨率（0.2μm）、元素浓度变化率
• 腐蚀产物相：组成鉴定（精度±1wt%）、腐蚀速率计算
• 氧化层分析：厚度（0.5-10μm）、元素梯度剖面

• 软组织元素映射：轻元素检测（C、O、N）、浓度范围（0.01-50wt%）
• 生物矿化：钙磷比（Ca/P≥1.67）、微量元素分布
• 组织结构：细胞尺度元素变化（分辨率1μm）

检测范围

1.金属材料：涵盖合金钢、铝合金及高温合金，重点检测元素偏析、夹杂物分布及界面扩散。

2.半导体材料：包括硅片、GaAs及芯片，侧重杂质元素浓度、界面反应及扩散屏障评估。

3.矿物岩石：地质薄片及矿石样品，检测矿物组成、微量元素丰度及共生结构。

4.陶瓷材料：氧化物陶瓷、氮化物及碳化物，重点分析晶界元素富集、相变及缺陷。

5.生物样品：骨骼、牙齿及软组织，检测钙磷分布、微量元素浓度及矿化程度。

6.电子元件：焊点、连接器及封装材料，侧重元素迁移、界面腐蚀及可靠性评估。

7.复合材料：纤维增强聚合物及金属基复合材料，分析纤维-基体界面扩散、元素均匀性。

8.地质标本：岩石薄片及矿物颗粒，检测微区元素变异、成因分析及蚀变特征。

9.考古文物：陶瓷碎片、金属器物及壁画，侧重腐蚀层分析、真伪鉴定及元素历史变化。

10.涂层材料：镀层、喷涂层及薄膜，重点测量厚度均匀性、界面结合及元素梯度。

检测方法

国际标准：

• ISO15632:2012电子探针微分析参数设定（精度要求±0.5wt%，样品制备步骤严格）
• ASTME1508-12a电子束仪器应用标准指南（元素识别方法，背景扣除差异）
• ISO17470:2014微束分析点分析标准（检测限设定，与国标在轻元素分析差异）

• GB/T17359-2012电子探针和扫描电镜定量分析方法（ZAF校正流程，与国际标准在精度偏差±0.3%）
• GB/T16594-2008微束分析术语（定义差异，元素范围覆盖）
• GB/T19501-2004电子探针分析方法通则（样品制备步骤与国际标准差异）

检测设备

1.电子探针微分析仪：JEOLJXA-8230（加速电压0.5-30kV，分辨率≤0.1μm）

2.扫描电镜-能谱仪：HitachiSU8010（EDS分辨率129eV，放大倍数×30-800,000）

3.X射线探测器：SDD探测器（能量分辨率<125eV，计数率>100kcps）

4.样品制备系统：GatanPECSII（离子束能量1-5keV，蚀刻速率0.1nm/s）

5.真空系统：涡轮分子泵（极限真空<10⁻⁶Pa，抽速500L/s）

6.冷却装置：液氮冷却探测器（工作温度-196°C，稳定性±0.1°C）

7.图像分析软件：ImageJwithEPMA插件（定量模块，数据处理精度0.01%）

8.高精度移动台：电动样品台（定位精度0.1μm，移动范围100mm×100mm）

9.标准样品库：多元素标准块（元素覆盖B-U，纯度>99.99%）

10.数据处理工作站：专用计算机（CPU8核，RAM32GB，存储2TB）

11.电子光学系统：电磁透镜组（束流稳定性<0.1%，聚焦深度0.5μm）

12.背散射电子探测器：BSD探测器（角度灵敏度±5°，分辨率0.2μm）

13.X射线谱仪：波长色散谱仪（WDS，分辨率5eV，元素范围Be-U）

14.样品镀膜机：溅射镀膜仪（涂层厚度10-20nm，均匀性±1nm）

15.环境控制单元：恒温恒湿系统（温度控制±0.5°C，湿度<30%）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。